中國科學家自主研制成功新型光刻機 取得專利20余項
2016年03月25日 9:10 8722次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 科技創(chuàng)新
近日，從中科院光電技術(shù)研究所獲悉，該所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊自主研制成功紫外納米壓印光刻機。
據(jù)中科院光電所微電子裝備總體研究室主任胡松介紹，該所自主研發(fā)的新型光刻機，將納米壓印這一新型高分辨力光刻技術(shù)，與具有低成本、高效率特點的紫外光刻技術(shù)有機結(jié)合。
據(jù)了解，這套設(shè)備采用新型納米對準技術(shù)，將原光刻設(shè)備的對準精度由亞微米量級提升至納米量級。對準是光刻設(shè)備三大核心指標之一，是實現(xiàn)功能化器件加工的關(guān)鍵。該所在國家自然基金的連續(xù)資助下，完成基于莫爾條紋的高精度對準技術(shù)自主研發(fā)，取得專利２０余項。
“該技術(shù)在光刻機中的成功應(yīng)用突破了現(xiàn)有納米尺度結(jié)構(gòu)加工的瓶頸問題，為高精度納米器件的加工提供了技術(shù)保障。”胡松說。
據(jù)悉，該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于微納流控芯片加工、微納光學元件、微納光柵、ＮＭＥＭＳ器件等微納結(jié)構(gòu)器件的制備，具有廣闊的應(yīng)用前景，目前已完成初試和小批生產(chǎn)，并已在高校與企業(yè)用戶中推廣。
責任編輯：李幼玲
如需了解更多信息，請登錄中國有色網(wǎng)：www.luytgc.com了解更多信息。
中國有色網(wǎng)聲明：本網(wǎng)所有內(nèi)容的版權(quán)均屬于作者或頁面內(nèi)聲明的版權(quán)人。
凡注明文章來源為“中國有色金屬報”或 “中國有色網(wǎng)”的文章，均為中國有色網(wǎng)原創(chuàng)或者是合作機構(gòu)授權(quán)同意發(fā)布的文章。
如需轉(zhuǎn)載，轉(zhuǎn)載方必須與中國有色網(wǎng)（ 郵件：cnmn@cnmn.com.cn 或 電話：010-63971479）聯(lián)系，簽署授權(quán)協(xié)議，取得轉(zhuǎn)載授權(quán)；
凡本網(wǎng)注明“來源：“XXX（非中國有色網(wǎng)或非中國有色金屬報）”的文章，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，并不構(gòu)成投資建議，僅供讀者參考。
若據(jù)本文章操作，所有后果讀者自負，中國有色網(wǎng)概不負任何責任。
